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檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測(cè)液體泄漏的裝置，通常由傳感器、信號(hào)處理電路和控制器組成。其工作原理是基于液體的物理性質(zhì)及其與周?chē)h(huán)境的關(guān)系來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)液體泄漏量的測(cè)量。
當(dāng)有液體通過(guò)管道或容器時(shí)，它會(huì)滲透到壓力敏感膜片上并使其變形，從而改變電容值或者電阻值等參數(shù)，這些變化會(huì)被傳送到處理器中進(jìn)行計(jì)算和處理得到具體的流量數(shù)據(jù)及對(duì)應(yīng)的泄露量數(shù)值；另外也會(huì)進(jìn)行壓強(qiáng)的比照查出在哪一個(gè)方位？并能測(cè)出相對(duì)濕度大小來(lái)判別含水量高低的情況以及相應(yīng)指示儀表來(lái)進(jìn)行報(bào)警提示等等功能。

氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測(cè)設(shè)備，利用了氦氣的流動(dòng)性和質(zhì)量大于氮?dú)?、氧氣等氣體這一特性。
該系統(tǒng)的是He特性的性及N2-Ar混合物的配比關(guān)系，對(duì)于壓力范圍0.5~8大氣壓，在很小的泄露量下就能探測(cè)出來(lái)（小于1Pa·m3/s）。此外還配備了真空泵對(duì)測(cè)試工件進(jìn)行抽空處理，將工作空間的工作壓力降低到規(guī)定的要求參數(shù)值內(nèi)；電器控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)整個(gè)試驗(yàn)過(guò)程的操作和調(diào)節(jié)控制；而示差式電路不但能根據(jù)被測(cè)樣品放出的低頻成分來(lái)校正測(cè)量結(jié)果而且還能使儀表具有自動(dòng)反吸功能。

真空箱氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測(cè)和測(cè)量真空容器內(nèi)氣體是否含有氦氣的設(shè)備。它通過(guò)將氦氣充入真空容器內(nèi)，然后抽出容器內(nèi)的空氣，檢測(cè)其是否含有氦氣來(lái)實(shí)現(xiàn)檢漏。系統(tǒng)通常由氦氣發(fā)生器、氦氣檢測(cè)器和真空系統(tǒng)等組成。氦氣發(fā)生器可以產(chǎn)生高純度的氦氣，氦氣檢測(cè)器用于檢測(cè)容器內(nèi)的氦氣濃度，真空系統(tǒng)用于保持真空環(huán)境。真空箱氦檢漏系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、太陽(yáng)能、電子、真空鍍膜等行業(yè)，可以用于檢測(cè)和測(cè)量真空容器內(nèi)的氣體是否含有氦氣，確保產(chǎn)品質(zhì)量和安全生產(chǎn)。