對(duì)檢漏方法的要求：穩(wěn)定性好，即可以在足夠長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)靈敏度；所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：空調(diào)制冷工業(yè)——壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；真空科學(xué)與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機(jī)、真空爐等真空系統(tǒng)；對(duì)于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調(diào)到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對(duì)氦罩沖氦。
氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進(jìn)行本測(cè)試，測(cè)試完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會(huì)影響毛細(xì)管的泄漏而影響測(cè)試結(jié)果的真實(shí)性。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達(dá)到一定真空度。常用的傳統(tǒng)氣體管道檢漏方法，如氣泡法和肥皂法在化工廠等有害氣體的管道檢漏不實(shí)用，檢測(cè)到微漏的氦質(zhì)譜檢漏儀成為了化工廠安全生產(chǎn)作業(yè)的保障。
一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及危險(xiǎn)性，在應(yīng)用中較少使用，所以實(shí)際大部分檢漏使用的都是氦氣。氦氣檢漏儀可同時(shí)檢測(cè)多工件，并能按照需求自動(dòng)判斷出具體的有漏工件；定制的的密封接頭，，減少誤判。主要配置：檢漏儀分子泵。機(jī)械泵或者干泵。定制檢漏儀電磁閥。內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏口。 放大器。質(zhì)譜模塊。
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