氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的? 氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、、真空系統(tǒng)、電子線路及其他電氣部分組成。為了方便解釋氦質(zhì)譜檢漏儀是如何工作的, 我們以磁偏轉型的氦質(zhì)譜檢漏儀為例進行說明。 在質(zhì)譜室的離子源N內(nèi)，氣體被電離成離子。在電場作用下離子聚焦成東，并以-定的速度經(jīng)由縫隙S1進入磁分析器，在均勻磁場的作用下，具有-定速度的離子束，將按圓形軌跡運動。調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束M z恰能通過縫隙S2到達收集極K而形成離子流。利用弱電流量測設備，使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其他不同于M2的離子束則以不同的偏轉半徑而被分開。
真空檢漏 向各個加熱電極、爐體水套等通水腔體內(nèi)噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進行包裹罩封,然后向罩中噴入氮氣，觀察檢漏儀的漏率變化,如果緩慢上升,說明被包裹的位置存在漏點。 極限壓力不合格，升壓率合格 這種情況原因通常出現(xiàn)在粗抽閥到機械泵部分的各個連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。
氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應性以及無破壞性，使其廣泛應用。氦質(zhì)譜檢漏方法 以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。 氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和 設備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種。對檢漏方法的要求：能定位、定量，即不經(jīng)能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；能無損檢漏，不使被檢設備受到損傷和污染。
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