氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，利用了氦氣的流動性和質(zhì)量大于氮?dú)?、氧氣等氣體這一特性。
該系統(tǒng)的是He特性的性及N2-Ar混合物的配比關(guān)系，對于壓力范圍0.5~8大氣壓，在很小的泄露量下就能探測出來（小于1Pa·m3/s）。此外還配備了真空泵對測試工件進(jìn)行抽空處理，將工作空間的工作壓力降低到規(guī)定的要求參數(shù)值內(nèi)；電器控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)整個試驗(yàn)過程的操作和調(diào)節(jié)控制；而示差式電路不但能根據(jù)被測樣品放出的低頻成分來校正測量結(jié)果而且還能使儀表具有自動反吸功能。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測和定位容器或管道內(nèi)部缺陷的儀器。它通過測量氣體的氦濃度來判斷是否存在缺陷，具有靈敏度高、檢測范圍廣、操作簡單等優(yōu)點(diǎn)。該系統(tǒng)包括氦氣發(fā)生器、質(zhì)譜檢測器、數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)等組成。其工作原理是，通過向容器或管道內(nèi)注入氦氣，然后用質(zhì)譜檢測器測量氦氣的濃度變化，從而發(fā)現(xiàn)缺陷。該系統(tǒng)可用于石油、化工、制藥、食品等行業(yè)，廣泛應(yīng)用于氣體檢測、漏點(diǎn)定位等領(lǐng)域。
真空箱氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測和測量真空容器內(nèi)氣體是否含有氦氣的設(shè)備。它通過將氦氣充入真空容器內(nèi)，然后抽出容器內(nèi)的空氣，檢測其是否含有氦氣來實(shí)現(xiàn)檢漏。系統(tǒng)通常由氦氣發(fā)生器、氦氣檢測器和真空系統(tǒng)等組成。氦氣發(fā)生器可以產(chǎn)生高純度的氦氣，氦氣檢測器用于檢測容器內(nèi)的氦氣濃度，真空系統(tǒng)用于保持真空環(huán)境。真空箱氦檢漏系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、太陽能、電子、真空鍍膜等行業(yè)，可以用于檢測和測量真空容器內(nèi)的氣體是否含有氦氣，確保產(chǎn)品質(zhì)量和安全生產(chǎn)。
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